【摘 要】
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为满足二氧化碳探测仪平面光栅高精度面形要求，对光栅及其支撑结构进行了设计和分析．首先，对光栅结构组件各材料的选取和支撑结构形式进行了研究；然后，以坐标变换法和最小二乘法为
【机 构】
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中自科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(No.2010AA1221091001)资助
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为满足二氧化碳探测仪平面光栅高精度面形要求，对光栅及其支撑结构进行了设计和分析．首先，对光栅结构组件各材料的选取和支撑结构形式进行了研究；然后，以坐标变换法和最小二乘法为理论依据，对镜面刚体位移和畸变的计算求解进行了探讨；接着，采用有限元法对光栅结构组件在不同热力耦合状态下的面形精度和结构强度进行仿真分析．运用有限元软件本身提供的二次开发功能．开发了能内部调用MATLAB编写的面形误差计算程序．经计算，各工况下面形误差PV≤63nm，RMS≤12．6nm．最后，为了验证结构组件的动态特性，进行了模态分析和
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