碳氮膜的红外光谱特性分析

• 作 者: 贺庆丽 姚合宝 冯忠耀 于明湘
• 机 构: 西北大学物理系
• 出 处: 光子学报
• 发表日期: 2002年9期
• 关键词: 碳氮膜 磁控溅射 红外光吸收谱 热稳定性 红外光学材料 Carbon nitride film Magnetron sputtering Infrared ab

用射频直流磁控溅射法在硅、石英基片上制备碳氮膜;采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)技术,对基片上的碳氮膜进行红外光吸收谱测量,发现所制备的膜中有β相的C3N4;用硬度计测量镀膜后的硬度,均比镀膜前有所增强;对所制备的膜进行热处理,结果发现热处理前膜的红外吸收谱与热处理后的红外吸收谱相比没有变化,说明膜的热稳定性较好,可以作为红外光学材料.