【摘 要】
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研究了平衡冷却法、过冷法与一步冷却法等在(111)B-InP衬底上LPE生长InGaAsP四元固溶体中,影响外延层性质的主要因素,得出平衡冷却法生长外延层其晶格常数、带隙、生长速率与
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,
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研究了平衡冷却法、过冷法与一步冷却法等在(111)B-InP衬底上LPE生长InGaAsP四元固溶体中,影响外延层性质的主要因素,得出平衡冷却法生长外延层其晶格常数、带隙、生长速率与液相组份X(?)有关;过冷法生长外延层的带隙与过冷度、降温速率有关;一步冷却法生长外延层的带隙与X_p~1的少量变化无关而与生长温度有关。一步冷却法是生长与InP衬底品格匹配且组份恒定的外延层的较好方法。
The main factors that affect the properties of the epitaxial layer in the InGaAsP quaternary solid solution of LPE grown on (111) B-InP substrate, such as the balanced cooling method, the supercooling method and the one-step cooling method, are studied. The lattice constant, band gap, and growth rate are related to the liquid component X (?). The bandgap of the epitaxial layer grown by subcooling is related to the undercooling and the cooling rate. The bandgap of the epitaxial layer grown by one- The small amount of change has nothing to do with the growth temperature. The one-step cooling method is a good way to grow an epitaxial layer with a constant composition and constant composition of the InP substrate.
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