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延迟线内插法是一种常用的时间间隔高精度测量方法,具有结构简单、便于片上实现的特点。本文提出了一种基于二维延迟链的高精度时间间隔测量方法,解决了现有一维延迟链中测量精度与刻度均匀性的矛盾;对二维延迟链的时间间隔测量精度进行了分析,通过QuartusⅡ软件对二维延迟链进行了布线,并由时序仿真得到了100ps的测量精度。