钝化膜的比较：热循环的作用与磷掺杂氧化膜的比较

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sophia_hou

【摘要】

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钝化膜的比较：热循环的作用与磷掺杂氧化膜的比较＝Ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎｏｆｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎｆｉｌｍｓ：ｔｈｅｅｆ－ｆｅｃｔｎｆｔｈｅｒｍａｌｃｙｃｌｅｓａｎｄｃｏｍｐａｒｉｓｏｎｏｆｐｈｏｓｐｈｏｒｏｕｓｄｏｐｅｄｏｘｉｄｅｆｉｌｍｓ［刊，英］／... Passivation film comparison: the role of thermal cycling and phosphorus-doped oxide film comparison = Compa

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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1995年01期

【关键词】

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钝化膜热循环化学汽相淀积过钝化温度循环磷硅玻璃原硅酸乙基

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