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研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.