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运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。
薄膜应变栅称重传感器的研制
【摘 要】
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运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系,浙江大学信息与电子工程系
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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1998年5期
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