【摘 要】
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本文描述了半导体激光退火的热机理及温升的简单计算。从理论上讨论了如何选择激光退火的参数、激光波长、脉冲宽度、功率密度、光斑尺寸和连续激光的扫描速度。
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本文描述了半导体激光退火的热机理及温升的简单计算。从理论上讨论了如何选择激光退火的参数、激光波长、脉冲宽度、功率密度、光斑尺寸和连续激光的扫描速度。
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