【摘 要】
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在氨基磺酸镍体系电镀液中添加不同浓度的三甲胺硼烷(TMAB),在阴极自旋转状态下利用复合电沉积方法制备不同质量分数的硼的镍-硼/金刚石切割片,探究镀液中不同质量浓度的 TMAB 对切割片晶体结构、硬度、耐磨性的影响.结果表明:阴极自旋转状态下制备的镍-硼/金刚石切割片中金刚石分布均匀;随TMAB质量浓度增加,镀层的晶粒尺寸减小、硬度增加、耐磨性提高.当 TMAB 质量浓度为3.0 g/L时,镀层基质金属的晶粒尺寸最小为 6.84 nm,硬度最大为 2 453.6 HV,磨损量最小为 1.7× 10-2 m
【机 构】
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郑州大学 力学与安全工程学院, 郑州 450000
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在氨基磺酸镍体系电镀液中添加不同浓度的三甲胺硼烷(TMAB),在阴极自旋转状态下利用复合电沉积方法制备不同质量分数的硼的镍-硼/金刚石切割片,探究镀液中不同质量浓度的 TMAB 对切割片晶体结构、硬度、耐磨性的影响.结果表明:阴极自旋转状态下制备的镍-硼/金刚石切割片中金刚石分布均匀;随TMAB质量浓度增加,镀层的晶粒尺寸减小、硬度增加、耐磨性提高.当 TMAB 质量浓度为3.0 g/L时,镀层基质金属的晶粒尺寸最小为 6.84 nm,硬度最大为 2 453.6 HV,磨损量最小为 1.7× 10-2 mm3 ,磨损宽度最小为 665.4 μm.用厚度为 28.3 μm 的镍-硼/金刚石切割片切割(111)晶面的 N型单晶硅片,硅片切割槽宽度为35.3 μm,切缝比为 1.25,最大崩边尺寸为3.1 μm.
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