强束流脉冲钼离子注入H13钢的研究

• 作 者: 杨建华 张通和 陈俊
• 机 构: 南通纺织工学院,北京师范大学,北京师范大学江苏226007
• 出 处: 微细加工技术
• 发表日期: 1991年4期
• 关键词: 钼 离子注入 H13钢 金属改性 Mo ion implantation Metal modification.

利用国内第一台金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源引出的钼离子对H13钢进行了不同束流密度下的注入。根据以碰撞和扩散理论为基础的YJH1程序计算了钼在H13钢中的分布。背散射(RBS)证明了这种计算的合理性。电镜(TEM)分析表明:随着束流密度的增大,注入层内将有钼化物出现。最后讨论了析出的钼化物对杂质浓度深度分布的影响。