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介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法——“降落法”，并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布，从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下Ar等离子体空间电位的分布情况。
用发射探针降落法测量等离子体空间电位
【摘 要】
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介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法——“降落法”，并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布，从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给
【机 构】
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齐齐哈尔大学物理系,大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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2004年1期
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