非晶薄膜晶化的频谱研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:d2587754
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选择一定的退火温度和退火时间,CoMnNiO非晶薄膜可以晶化为晶粒尺寸几个至几十个纳米的微晶薄膜.复阻抗频谱和电导频谱研究表明,这种微晶薄膜的粒间效应增强,在一定频率范围内微晶薄膜的电导低于非晶薄膜的电导.认为这种微晶薄膜的粒间组成是许多个原子尺度大小的无规网络,微晶薄膜的结构为纳米晶粒和非晶网络组成的两相结构,电导符合多渠道导电模型. Select a certain annealing temperature and annealing time, CoMnNiO amorphous film can be crystallized into a few to tens of nanometers crystallite size of the microcrystalline film. The study of complex impedance spectroscopy and conductance spectra show that the intergranular effect of this microcrystalline thin film is enhanced, and the conductance of the microcrystalline thin film is lower than that of the amorphous thin film in a certain frequency range. It is considered that the intergranular composition of this microcrystalline thin film is a random network with many atomic scales. The structure of the microcrystalline thin film is a two-phase structure composed of nanocrystalline grains and amorphous network, and the conductivity is in accordance with the multi-channel conductive model.
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