非化学剂量氧对Mn1.56Co0.96Ni0.48O4±δ尖晶石薄膜性能的影响

• 作 者: 史芹 任卫 张敏 Jiang Chun-qi
• 机 构: 石河子大学理学院物理系,西安邮电大学理学院,新疆大学物理科学与技术学院,OldDominionUniversity
• 出 处: 云南大学学报:自然科学版
• 发表日期: 2019年1期
• 关键词: 尖晶石薄膜 退火 非化学计量氧 光学性能 导电率 spinel thin film anneal oxygen nonstoichiometry optical
• 基金项目: 国家自然科学基金(51602273),新疆大学自然科学基金(BS160218),石河子大学实践教学改革项目(SJ-2018-05).

通过在不同的氧分压条件下退火锰钴镍三元合金薄膜,成功制备出Mn1.56Co0.96Ni0.48O4±δ(MCN)尖晶石薄膜.详细探究了氧的非化学计量对MCN薄膜性能的影响.当退火氧分压从10 kPa增加至90 kPa时,MCN薄膜的结晶度获得提高;薄膜表面的吸附氧由10 kPa时的61.6%减少至90 kPa时的29.2%;同时,室温电阻率由10 kPa时的183.0 MΩ迅速下降至90 kPa时的6.9 MΩ.这表明MCN薄膜中氧化学计量对薄膜的电学性能有至关重要的作用. MCN薄膜的光吸收表