【摘 要】
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对双原子分子O2与Si（100）－2×1重构表面的相互作用过程进行了动力学研究。建立了相互作用系统的LEPS势能超曲面，并在此基础上采用准经典轨迹方法计算了不同特征吸附位上的分子运
【机 构】
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清华大学电子工程系!北京100084,清华大学电子工程系!北京100084
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对双原子分子O2与Si（100）－2×1重构表面的相互作用过程进行了动力学研究。建立了相互作用系统的LEPS势能超曲面，并在此基础上采用准经典轨迹方法计算了不同特征吸附位上的分子运动轨迹，得到了与理想表面模型相比更为合理的表面吸附特性。
The kinetics of the interaction between diatomic molecules O2 and Si (100) -2 × 1 reconstructed surface has been studied. The LEPS potential hypersurface of the interaction system was established. On the basis of this, the trajectories of molecules on different adsorption sites were calculated by quasi-classical trajectory method, and the more reasonable surface adsorption properties were obtained compared with the ideal surface model.
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