真空检测

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激光电离真空规──《Proc. 7th Iute-rn.Vac Congr. 3rd Intern conf.Solid Surfaces》A-2712(1977) 这种新型真空规应用“闪烁灯丝法”[1]和表面上的激光产生离子溅射[2]。激光束射入真空系统内并聚焦在一个有水冷的钨带上,焦点直径为1毫米。该照射点的周围有两个同心的半球 Laser Ionization Vacuum Gauges “Proc. 7th Iute-rn. Vac Congr. 3rd Intern conf. Solid Surfaces” A-2712 (1977) This new vacuum gauge uses the “twinkling filament method” [1] and laser generation on the surface Ion sputtering [2]. The laser beam was launched into the vacuum system and focused on a water-cooled tungsten ribbon with a focal spot diameter of 1 mm. There are two concentric hemispheres around the point of irradiation
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