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【摘 要】
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为了实现纳米薄膜厚度的高精度计量,研制了可供台阶仪、扫描探针显微镜等接触测量的纳米薄膜样片,研究了X射线掠射法测量该纳米薄膜样片厚度的基本原理和计算方法,导出了基于
【机 构】
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精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学); 中国计量科学研究院;
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2014年06期
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目(批准号:91023021);中国计量科学研究院项目(批准号:AKY0703)及(批准号:24-JB1104);浙江省重中之重学科基金;浙江理工大学机械设计及理论重点实验室开放基金(批准号:ZSTUMD2012A005)资助的课题~~
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