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高精度数字化单晶炉加热电源设计
高精度数字化单晶炉加热电源设计
来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flw00
【摘 要】
:
对传统的单晶炉加热电源进行了改进和升级,将数字控制器80C196KB融入到单晶炉加热电源的控制当中,利用模拟技术、微机控制技术实现了对控温精度要求很高的直拉单晶炉温度控制系
【作 者】
:
胡洁微
房宗良
吴静
马桂珍
孟艳
赵凤贤
【机 构】
:
防化指挥工程学院二系核电子,辽宁工业大学信息科学与工程学院
【出 处】
:
核电子学与探测技术
【发表日期】
:
2009年3期
【关键词】
:
数字化
单晶炉
电源
高精度
Digital
Single crystal furnace
Power supply
High precision
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对传统的单晶炉加热电源进行了改进和升级,将数字控制器80C196KB融入到单晶炉加热电源的控制当中,利用模拟技术、微机控制技术实现了对控温精度要求很高的直拉单晶炉温度控制系统的设计。结果表明系统的控制精度提高,能够实现对电源输出功率的实时自动调节。
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