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8新型研究材料8．1范围新型研究材料（ERM）一章提供对具体研究挑战的指导，这些挑战必须在实验室中通过对新型候选材料系列的研究而解决，以保障成为可行的ITRS解决方案。
国际半导体技术发展路线图（ITRS）2013版综述（3）
【摘 要】
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8新型研究材料8．1范围新型研究材料（ERM）一章提供对具体研究挑战的指导，这些挑战必须在实验室中通过对新型候选材料系列的研究而解决，以保障成为可行的ITRS解决方案。
【机 构】
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工业和信息化部电子科学技术情报研究所,北京理工大学光电学院
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2014年11期
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