【摘 要】
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本文利用固相反应成功地制备出直径Φ１００ｍｍ，厚度５ｍｍ的高质量超导靶材，超导靶材零电阻温度为９１Ｋ，同时对靶材原粉的要求和制靶工艺进行了分析。Ｘ射线衍射进行物相定性分析，扫描电镜进行形貌现察
【机 构】
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长春光学精密机械学院材料与化工分院,长春光学精密机械学院材料与化工分院
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本文利用固相反应成功地制备出直径Φ１００ｍｍ，厚度５ｍｍ的高质量超导靶材，超导靶材零电阻温度为９１Ｋ，同时对靶材原粉的要求和制靶工艺进行了分析。Ｘ射线衍射进行物相定性分析，扫描电镜进行形貌现察。用此靶材制备的超导薄膜，其零电阻温度在９０Ｋ，临界电流密度大于１０６／ｃｍ２，并用于制备超导电子器件。
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