【摘 要】
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为了解决微机械薄膜变形镜的由于整体薄膜宽交连值、单向形变所引起的Zernike模式像差校正能力较低的问题,采用了一种基于主成份分析的波前模式分析方法,方法利用对微机械薄
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院,南京航空航天大学机电学院 江苏南京210016,江苏南京210016
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为了解决微机械薄膜变形镜的由于整体薄膜宽交连值、单向形变所引起的Zernike模式像差校正能力较低的问题,采用了一种基于主成份分析的波前模式分析方法,方法利用对微机械薄膜变形镜驱动电极影响函数的相关分析,并对新向量组进行了降维处理,得到的模式复原波前基向量有助于减少测量噪声和计算误差的影响。方法对于基于微机械薄膜变形镜的模式控制电压的求解有着重要意义。
In order to solve the problem of low aberration correction of Zernike mode caused by unidirectional deformation of micro-mechanical deformable mirror, a wavefront mode analysis method based on principal component analysis The correlation analysis of the influence function on the driving electrode of the micro-mechanical deformable mirror was carried out, and the new vector group was reduced dimensionally. The obtained model was helpful to reduce the influence of measurement noise and calculation error. The method is of great importance for the solution of the mode control voltage based on the micromechanical film deformable mirror.
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