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以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金刚石膜.
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
【摘 要】
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以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金
【机 构】
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广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,华南理工大学
【出 处】
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广东有色金属学报
【发表日期】
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2002年1期
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