【摘 要】
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报道了用于ＭＯＣＶＤ工艺制备半导材料的前体化合物二乙基锌的直接气相色谱分析方法。研究了二乙基锌及其中的挥发性有机杂质色谱分离特性．同时指出在严格实验条件下，二乙基锌能和一般有
【机 构】
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化工部光明化工研究所，大连理工大学
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报道了用于ＭＯＣＶＤ工艺制备半导材料的前体化合物二乙基锌的直接气相色谱分析方法。研究了二乙基锌及其中的挥发性有机杂质色谱分离特性．同时指出在严格实验条件下，二乙基锌能和一般有机物一样，从色谱柱上很好流出，并保证不分解。
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