光纤定位激光钎焊键合过程中钎料与镀层的界面反应

来源 :材料科学与工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qvwen2005
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光电子封装中,光导纤维的定位键合是一项关键技术,并且焊点界面处的显微组织对于焊点的可靠性有重要影响.本文选用80Au20Sn和52In48Sn钎料实现了激光钎焊条件下的光纤键合,采用扫描电子显微镜及能谱分析的方法对于两种钎料分别与硅片上的Au/Ti镀层和光纤上的Au/Ni镀层反应形成的界面微观组织形态及形成规律进行了分析.结果表明:对于80Au20Sn钎料,除了共晶组织ξ相+6相,在AuSn/Au/Ti镀层界面形成了大量枝状的先共晶∈相,在AuSn/Au/Ni镀层界面形成了针状的(Au,Ni)3Sn2;对
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