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ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性，并且也是最早（1962）被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料；然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性；通过选择合适的绝缘衬底（Al2O3）和适当选择溅射参数得到掺杂稳定，结构稳定，性能良好的ZnO薄膜酒敏元件。通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件，并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器。