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光刻胶是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光刻胶及其成膜树脂的国内外研究状况。
光刻胶及其成膜树脂的研究现状
【摘 要】
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光刻胶是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光刻胶及其成膜树脂的国内外研究状况。
【机 构】
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广东省石油与精细化工研究院广东省工业表面活性剂重点实验室
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2020年14期
【基金项目】
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广东省科学院企业工作站建设专项项目
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