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【摘 要】
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日本关西研热工业公司根据各种环境污染防止装置的研究成果来进行改进，研制了一种半导体废气消毒总装置，现已开始销售。
【机 构】
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化工部光明化工研究所,化工部西南化工研究院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1987年3期
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