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快速热处理是半导体工艺中的重要技术。介绍了计算机控制快速光加热系统，并编制了专业软件。
计算机控制快速光加热系统
【摘 要】
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快速热处理是半导体工艺中的重要技术。介绍了计算机控制快速光加热系统，并编制了专业软件。
【机 构】
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北京中科院半导体所集成光电子国家重点实验室
【出 处】
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电子技术应用
【发表日期】
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1997年12期
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