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一种用于测量SiO2薄膜热导率的测试方法
一种用于测量SiO2薄膜热导率的测试方法
来源 :测控技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JZH122
【摘 要】
:
介绍一种用于测量SiO2薄膜热导率的测试方法.本方法根据3ω法原理,采用锁相放大器提取微弱信号,并通过GPIB接口总线实现自动测试,分别测试了厚度为500 nm和100 nm SiO2薄膜的
【作 者】
:
张立伟
马灵芝
唐祯安
蒋国平
【机 构】
:
大连理工大学电子系
【出 处】
:
测控技术
【发表日期】
:
2001年8期
【关键词】
:
二氧化硅薄膜
热导率
测试
测量
微电子器件
thinfilmthermal conductivitymeasurement
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介绍一种用于测量SiO2薄膜热导率的测试方法.本方法根据3ω法原理,采用锁相放大器提取微弱信号,并通过GPIB接口总线实现自动测试,分别测试了厚度为500 nm和100 nm SiO2薄膜的纵向热导率.
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