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结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势。
基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展
【摘 要】
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结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型
【机 构】
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钢铁研究总院,河北大学电子信息工程学院
【出 处】
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冶金分析
【发表日期】
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2006年04期
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