纳米TiO2薄膜的制备及其光谱特性研究

• 作 者: 郝丽媛 周炳卿 韩兵 陈霞 李力猛 那日苏 王丽娟
• 机 构: 内蒙古师范大学物理与电子信息学院、功能材料物理与化学自治区重点实验室
• 出 处: 信息记录材料
• 发表日期: 2009年5期
• 关键词: TiO2纳米膜 溶胶-凝胶法 XRD 紫外-可见光谱 TiO2 thin film sol-gel method X-ray diffraction UV
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目（50662003）

采用溶胶－凝胶法和旋转涂膜工艺，以普通玻璃为衬底，制备均匀、透明的Ti02纳米薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）和紫外－可见光谱（UV／vis）对TiO2进行表征。通过500℃、600℃、700℃、800℃和900℃恒温烧结2h后XRD测试表明：经500℃退火得到TiO2粉末为锐钛矿晶相，800℃转化为金红石相结构，900℃出现了金红石相与板钛矿相的混合晶相。通过AFM观测，薄膜的平均粗糙度为1．71mm。通过紫外可见光谱分析，探讨了影响TiO2纳米膜厚度和禁带宽度度的各种因素。结果