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以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上应用作了实验研究，设计了一个包括高压精密可调电源，压电微位移驱动器，作为反馈元件的光栅干涉仪，以及由ＩＢＭＰＣ机和单片机组成的控制系统。
用压电陶瓷实现精密工件台的微定位控制
【摘 要】
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以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上应用作了实验研究，设计了一个包括高压精密可调电源，压电微位移驱动器，作为反馈元件的光栅干涉仪，以及由ＩＢＭＰＣ机和单片机
【机 构】
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长春邮电学院通信工程系
【出 处】
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长春邮电学院学报
【发表日期】
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1997年4期
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