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【摘 要】
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华润上华科技有限公司（华润微电子有限公司附属公司）近日宣布，继2010年首颗200V SOI CDMOS产品量产后，具有更高性价比的第二代SOI工艺实现量产。该工艺是一种集成多种半导体器件
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2012年12期
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