【摘 要】
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采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings,CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院,贵州财经大学信息学院,半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:61564002,11664005),贵州省科学技术基金(批准号:黔科合基础[2017]1055),贵州大学引进人才科研项目(批准号:贵大人基合字[2015]23号)资助的课题.
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采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings,CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果发现,随着Ga液滴沉积速率的增加,CQDRs的密度增加,内外环半径均降低.根据成核理论中最大团簇密度和Ga液滴沉积速率之间的关系拟合出临界成核原子数目为5,表明在Ga液滴形成阶段时稳定的Ga原子晶核至少包含5个Ga原子;根据成核理论和拟合结果绘制成核过程状态转化图以深入理解Ga液滴形成过程.
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