【摘 要】
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非晶态氮化硅薄膜是一种半导体太阳能电池材料,薄膜材料的性能与其中氮和硅的原子比密切相关。因此在材料制备和性能研究中必需进行氮、硅含量的测定。薄膜中氮的测定国外有
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,
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非晶态氮化硅薄膜是一种半导体太阳能电池材料,薄膜材料的性能与其中氮和硅的原子比密切相关。因此在材料制备和性能研究中必需进行氮、硅含量的测定。薄膜中氮的测定国外有采用俄歇能谱或二次离子质谱等方法,国内尚未见有关氮化硅薄膜分析方法的报道。
Amorphous silicon nitride film is a semiconductor solar cell material, the performance of thin film materials and nitrogen atoms are closely related to the atomic ratio of silicon. Therefore, in the preparation of materials and properties of nitrogen and silicon must be measured. Determination of nitrogen in the film Overseas methods such as Auger spectroscopy or secondary ion mass spectrometry, the domestic has not been reported on the silicon nitride film analysis methods.
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