【摘 要】
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采用发射光谱分析不同气体组分的等离子喷涂-物理气相沉积（PS-PVD）射流,通过Abel转换得出射流径向各点处的光谱强度,比较和分析射流中不同气体的成分分布。采用多谱线斜率法研
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院,广东省新材料研究所
【基金项目】
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广东省对外合作项目（2013B050800027）, 广州市对市合作项目（201508030001）, 广东省科学院平台建设项目（2016GDASPT-0206,2016GDASPT-0317）资助
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采用发射光谱分析不同气体组分的等离子喷涂-物理气相沉积（PS-PVD）射流,通过Abel转换得出射流径向各点处的光谱强度,比较和分析射流中不同气体的成分分布。采用多谱线斜率法研究不同气体组分的射流在径向距离上电子温度的变化,通过Hβ谱线的stark展宽计算径向上电子密度的分布。结果表明：Ar/H2气体中,H2在焰流中心区域（0-30mm）分布较为均匀,但在焰流中心稍靠外的区域（30-60mm）随着径向距离的增加而增加;加入He后,Ar和H2在焰流中心处浓度较低并在一定范围内随着径向距离的增加而增加,He往
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