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本文在作者提出的光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为125．56μm，并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。
用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪
【摘 要】
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本文在作者提出的光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为125．56μm，并讨论了
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2001年B12期
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