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GIS设备内的SF6气体不溶解于水和变压器油，与其他许多物质不发生作用，但在电弧和电晕的作用下，SF6会发生分解反应，产生低氟化合物。这种化合物会引起绝缘材料和结构材料的损坏，且为剧毒气体，对人体十分有害。《电业安全工作规程》第八章第196条中明确规定：工作人员进入SF6配电装置室，必须提前通风15min，方可进入。