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【摘 要】
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原子力显微镜测力臂弹性系数的准确性直接影响其测量精度，是仪器标定的一个重要指标。分别运用理论计算方法、动态计算方法和静态计算方法计算原子力显微镜测力臂弹性系数。以
【机 构】
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西南交通大学机械工程研究所
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2015年4期
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