【摘 要】
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基于纳米球光刻技术制备了一种花状纳米金结构阵列,经过PS509 nm球旋涂和ICP氧刻蚀,再通过镀金膜与高温退火工艺,纳米球阵列的表面被粗糙化,进而形成了一种鳞状的花状阵列.FD
【机 构】
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国防科学技术大学机电工程与自动化学院
【基金项目】
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Foundation of State Key Laboratories of Transducer Technology
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基于纳米球光刻技术制备了一种花状纳米金结构阵列,经过PS509 nm球旋涂和ICP氧刻蚀,再通过镀金膜与高温退火工艺,纳米球阵列的表面被粗糙化,进而形成了一种鳞状的花状阵列.FDTD仿真结果表明,制备的这种阵列具备很高的电磁场增强特性,主要的增强集中于纳间隙的边缘处.以罗丹明6G染料为探针分子测试基底的拉曼效应,与金基底的拉曼信号相比,该纳米结构阵列拉曼增强效应明显,对罗丹明6G的检测极限达到了10-6 mol/L的水平.
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