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采用固-液-气(VLS)法,在无限微热源炉中成功地合成了碳化硅晶须(SiCw),运用SEM,XRD,EDS等分析检测技术对SiCw的形态和显微结构进行研究.在制备出的SiCw产物中,出现不同形态的晶须形貌,除了细长均匀的碳化硅晶须外,还出现了各种其它不规则形状的晶须.通过分析,不规则形状的晶须也为SiCw.