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三维微细加工中的LIGA技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准LIGA工艺技术，以常规的紫外光刻方法，成功地制成了具有较高深宽比的微金属齿轮。
准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用
【摘 要】
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三维微细加工中的LIGA技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准LIGA工艺技术
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1995年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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