【摘 要】
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研究和探讨了低温共烧陶瓷（LTCC）共烧过程中的收缩现象及LTCC陶瓷金属化后翘曲的主要影响因素。采用六种不同平均粒径（0.7~2.3μm）的类球形金粉、玻璃粉及一种合适的有机载体分别
【机 构】
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贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
【基金项目】
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The Fund of the State Key Laboratory of Advanced Technologies for Comprehensive Utilization of Platinum Metals(No.SKL-SPM-201532),,Key Technologies of Preparing LTCC Electronic Pastes and Their Indust
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研究和探讨了低温共烧陶瓷（LTCC）共烧过程中的收缩现象及LTCC陶瓷金属化后翘曲的主要影响因素。采用六种不同平均粒径（0.7~2.3μm）的类球形金粉、玻璃粉及一种合适的有机载体分别制备成金导体浆料。将制备成的金导体浆料印刷在LTCC生瓷膜上，按LTCC常规工艺叠层、共烧。分析了不同粒径金粉制备的浆料印刷在瓷片上烧结后的微观结构，测量了各瓷片的翘曲度及各浆料的方阻。实验发现采用大粒径的类球形金粉有利于减小瓷片的翘曲度，但烧结膜层致密性变差，方阻也变大。
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