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在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备胡问国（云南大学物理系）Ａ．Ｐ．Ｄｌｏｋｉｎｇ．Ｓ．Ｉ．Ｚａｉｚｈｅｖ，Ｅ．Ｉ．Ｒａｕ，Ｎ．Ｇ．ＵｓａｋｏＶ（俄罗斯科学院）关键词：新设备，分层体现图像，场发射尖锥，真空微电子器件。众所周知，用扫描电镜只能对...
在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备
【摘 要】
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在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备胡问国（云南大学物理系）Ａ．Ｐ．Ｄｌｏｋｉｎｇ．Ｓ．Ｉ．Ｚａｉｚｈｅｖ，Ｅ．Ｉ．Ｒａｕ，Ｎ．Ｇ．ＵｓａｋｏＶ（俄罗斯科学院）关键词：新设备，分层体现图像，场发射尖锥，真空微电子器件。众所周知，用扫描电镜只能对...
【机 构】
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云南大学物理系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1994年3期
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