【摘 要】
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类金刚石（DLC）薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题。利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜，研究沉积时基体偏压、薄
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类金刚石（DLC）薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题。利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜，研究沉积时基体偏压、薄膜厚度以及钛过渡层对DLC薄膜与基体结合强度的影响。研究结果表明，316L表面制备相同厚度的DLC薄膜，采用-1000V脉冲偏压制备的薄膜结合强度明显优于～80V直流偏压下制备的DLC薄膜；随着DI。C薄膜厚度的增大，DLC薄膜与316L基体的结合力下降；316L不锈钢表面制备一层100nm的钛过渡层之后可以改善DLC薄膜的结合状
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