【摘 要】
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清华大学微电子学研究所ＲＨＴ半导体快速热处理设备推广应用成绩喜人１９９５年６月１４～１５日，国家科委科技成果司、国家教委科技管理中心和电子部科技司在清华大学召开了现场推广会，对ＲＨＴ半导体快速热处
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清华大学微电子学研究所ＲＨＴ半导体快速热处理设备推广应用成绩喜人１９９５年６月１４～１５日，国家科委科技成果司、国家教委科技管理中心和电子部科技司在清华大学召开了现场推广会，对ＲＨＴ半导体快速热处理设备进行了现场使用表演和介绍，会上，各用户单位提交了...
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