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<正> 一、设备改造 随着溅射镀膜技术的发展,许多原来用真空蒸发的材料现在都可改用溅射镀膜。溅射镀膜比蒸发镀膜有许多优点,如:附着力好,省材料,能沉积高熔点的金属、非金属薄膜,溅射合金材料时能保持原来的比份,利用小面积的靶材可以获得大面积而均匀性好的薄膜镀层;还可以掺入氧、氮等气体进
连续溅射镍铬-金薄膜导体
【摘 要】
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<正> 一、设备改造 随着溅射镀膜技术的发展,许多原来用真空蒸发的材料现在都可改用溅射镀膜。溅射镀膜比蒸发镀膜有许多优点,如:附着力好,省材料,能沉积高熔点的金属、非金
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1985年04期
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