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在德国联邦教育与研究部（BMBF）基金支持下，AMD，CarlZeissSMT与Qimonda将启动一项1750万美元（1200万欧元）的纳米分析计划，为下一代芯片制造提供新的分析及表征方法。
AMD、CarlZeiss与Qimonda联合成立纳米分析研究中心
【摘 要】
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在德国联邦教育与研究部（BMBF）基金支持下，AMD，CarlZeissSMT与Qimonda将启动一项1750万美元（1200万欧元）的纳米分析计划，为下一代芯片制造提供新的分析及表征方法。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年11期
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