【摘 要】
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采用低压反应离子镀沉积技术，制备光学薄膜质量有着显著的改善。我们利用此技术沉积的ＴｉＯ２、ＳｉＯ２和Ａｌ２Ｏ３膜，其折射率分别为２５５、１４９（５５０ｎｍ）和１６７（１１００ｎｍ），比传统的电子束蒸发好得多。用此方法，在ＣＲ３９基片每面沉积４层ＴｉＯ２／ＳｉＯ２抗
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采用低压反应离子镀沉积技术，制备光学薄膜质量有着显著的改善。我们利用此技术沉积的ＴｉＯ２、ＳｉＯ２和Ａｌ２Ｏ３膜，其折射率分别为２５５、１４９（５５０ｎｍ）和１６７（１１００ｎｍ），比传统的电子束蒸发好得多。用此方法，在ＣＲ３９基片每面沉积４层ＴｉＯ２／ＳｉＯ２抗反薄膜，剩余反射率≤０５％。本文简要介绍其工艺过程和相应的ＬＶＲＩＰＤ装置
The use of low pressure reactive ion plating deposition technology, preparation of optical thin film quality has been significantly improved. The TiO2, SiO2 and Al2O3 films deposited by this technique have refractive indices of 255,149 (550nm) and 167 (1100nm), respectively, which are much better than the traditional electron beam evaporation. Using this method, 4 layers of anti-reflective film of TiO2 / SiO2 were deposited on each side of the CR39 substrate with a residual reflectivity of ≤0.5%. This article briefly describes its process and the corresponding LVRIPD device
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