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使用立式连续直线镀膜生产线，采用真空磁控溅射技术在玻璃表面设计并镀制了Nb2O3／SiO2／Nb205／SiO2／CNx多层纳米硬质增透薄膜，并研究其透过率、硬度及理化性能。结果表明：通过引入线性阳极层离子源，控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺，钻面玻璃产品的表面硬度达994．8HV，是普通玻璃的2倍以上；在可见光透过率≥94％，具有一定的增透效果；经过酸／碱／溶剂／热处理后的透过率衰减△T〈0．1％，理化性能优良。