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从模具材料研究模具制作工艺问题,通过实验研究,对比分析了有机玻璃模具和硅橡胶模具制作工艺.实验表明,可以复制出特征尺寸为0.35 μm和 0.1 μm的有机玻璃模具和硅橡胶模具,均具有很高的复型精度.由于硅橡胶模具制作工艺在复型精度、复型精度稳定性和制作速度上均优于有机玻璃模具,且缺陷密度低于有机玻璃模具.因此,选用基于高复型精度软硅橡胶模具的软压印光刻工艺.